去磷硅玻璃清洗机

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主要用途
主要用于太阳能电池生产线上硅片扩散后去磷硅玻璃的清洗处理。是一条集清
洗、腐蚀、干燥为一体的全自动综合清洗工艺线。
主要技术指标
	硅片尺寸：	兼容156×156，125×125，103×103
	设备外形尺寸：	8.8 m×2.3m×3m；
	最大产量：	1800片/小时；
	工艺过程控制方式：	PLC控制方式，全图形化中文人机界面。
	机械手传送定位精度：	横向±2mm，纵向±2mm；
	机械手传动速度：	垂直升降速度不小于4000mm/min，水平移动速度不小于6000mm/min；
	槽体数量：	6槽；
	烘干时间：	≤20min



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