 主要用途
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CZ800-A、CZ900A型单晶炉，是一种软轴提拉型单晶炉，在惰性气体（氩气）的 |
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| 保护环境中，以石墨电阻加热器，将多晶硅材料熔化，用直拉法生长无错位单晶棒的 |
| 设备。 |
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主要技术特点 |
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 真空保持稳定，重要的密封部位采用先进的磁流体密封技术；
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机构运行平稳，主要运行部件采用进口高性能电机和高精度传动机构； |
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主炉室和副炉室之间采用插板阀连接，有效降低炉体高度，降低厂房 |
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要求和减小籽晶轴的晃动； |
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主炉室与副炉室升降采用三相异步电机驱动，安全可靠； |
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完全具有自主知识产权的控制系统，以高性能进口PLC为控制核心， |
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外加工业级PC监控拉晶过程，性能可靠，避免死机现象发生； |
先进的串级控制算法，精确控制温度和拉速，实现高精度的晶体生长； |
全进口低压电气元件，保护灵敏可靠，维护方便； |
触摸屏操作界面简洁、友好，控制过程可视性强，工艺曲线编辑方便； |
单晶炉专用数字控制电源系统，空载电流小，能耗低。 |
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主要技术指标 |
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产品型号： CZ800A CZ900A |
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晶体直径： 6 ～ 8 〞 6 ～ 8 " |
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最大加热功率： 150KW 150KW |
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变压器容量： 200KVA 200KVA |
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冷炉极限真空： ＜ 3Pa ＜ 3Pa |
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主炉室尺寸： 内径×内部高度 φ 800 × 800 内径×内部高度 φ 900 × 850 |
炉室延伸： 内径×内部高度 φ 800 × 350 内径×内部高度 φ 900 × 400 |
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设备高度： 5800mm 6400mm |
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最大装料量： 60kg 90kg |
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籽晶拉速范围： 0.1 ～ 10mm /min 0.1 ～ 10mm /min |
| 籽晶在炉内有效行程： ≥ 2650mm ≥ 3000mm |
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籽晶轴摆动量： 引晶位置处 ≤φ 2mm 引晶位置处 ≤φ 2mm
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坩埚在炉内有效行程： 380mm
400mm |
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坩埚转速范围： 0 ～ 30rpm 0 ～ 30rpm |
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| 触摸屏操作截面 |
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| 地 址:长沙市天心区新开铺路1025号中国电子科技集团公司第四十八研究所经营二处 |
| （湖南红太阳光伏科技有限公司经营部） 邮编：410111 |
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