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主要用途

    多晶硅铸锭炉主要用于太阳能级多晶硅锭的大生产,它采用先进的多晶硅定
凝固技术,将硅料高温熔融后通过特殊工艺定向冷凝结晶,从而达到太阳能电池
生产用多晶硅品质的要求,是一种适用于长时间连续工作,高精度、高可靠性、
自动化程度高的智能化大生产设备。
 

主要技术指标

    

型号:                         R13240-1型                        R13450-1型

铸锭尺寸(mm):                 690×690×220                     846×846×270

生产率(kg/炉):                240~270                          450~450

生产周期(h.):                 ~50                              ~60

最高温度(℃):                 1600                              1600

常用工作温度(℃):             1540                              1540

硅锭生长速率(cm/h.):          ~2                               ~2

炉内极限真空度(mbar):         0.02                              0.02

系统漏率( mbar/h.):           < 0.01                            < 0.01           

氩气耗气量(m3/锭):           50~70                            50~70      

冷却水(L/min):                ~140                             ~140

额定加热功率(kW):             160                               220

年生产能力(锭/年):            160                               160

主要技术特点

先进的多晶硅定向凝固技术;

优质的炉膛材质和高气密性炉腔,为多晶硅生长提供优良条件;

隔热笼同步提升技术,保证垂直方向温度梯度和固液界面水平;

方便形成垂直温度梯度的热场设计,实现晶体快速生长;

独特生长期维持副泵设计,大大降低真空系统能耗,延长住泵寿命,减少使用维护成本;

采用固化碳毡错位设计,减少热损耗,节能;

隔热笼运动机构采用进口驱动器+伺服电机+进口滚珠丝杆副,控制精度高,运行平稳可靠下炉盖运动机构采用直

流电机控制、稳定性好,并配有丢步检测保护装置;

工艺过程计算机全自动智能化控制,图形化显示,独有断偶等“经验”处理程序,提高铸锭成功率;

可靠的安全性能:高于国际行业标准的安全性防护设计,采用四重防硅液泄漏的安全防护技术,确保防止意外的

发生;

UPS电源,软件、硬件多重安全保护,故障报警和安全联锁,设备可靠性高;

整机模块化、标准化设计,安装快捷,设备拓展方便,可维修性好;快捷方便的本土技术服务,充足的零备件供 

应。

 
     
              工控机(触摸式操作屏                   多晶硅锭 
 
 
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