真空封管机

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主要用途
真空封管机是高质量可控硅工艺生产中一种必不可少
的真空设备，该设备主要用于可控硅(晶闸管)生产中扩散工
艺之前的硅片真空封装。由于设备中主泵采用了分子泵，所
以能够提供一个清洁无油的高真空环境，这样就创造了一个
优越的工艺条件，对工件质量有了很好的保证。
技术特点：
结构设计紧凑、布局合理、外型美观
真空系统运行安全、稳定，抽气速率快
用可编程序控制器控制系统运行，可靠性高，自动连锁保护
可手动、自动双重操作，操作简单、维修方便
主要技术指标：
	系统极限真空度(空载):	4×10^-4Pa
	抽气速率（空载）：	达1x10-3Pa时间≤15分钟。
	烘烤炉温:	最高1000℃
	烘烤炉膛：	内径Φ180mm，移动轨道长1800～1900mm。
	充氩(Ar)重复精度：	±Kpa。（受石英管容积大小和氩气气压影响略有不同）。
	采用手动和自动相结合的控制系统
	故障自动声光报警
	连锁保护

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