LED合金炉

主要用途
合金，是LED制造过程中的一道重要工序。主要用来
钝化片工艺上的欧姆接触。

技术特点
控温采用主从控制方式，内置热偶动态显示反应基片的实际温度,超温报警。
全自动Sic悬臂式推拉舟系统,进退舟速度可调。
配置压力报警系统,工艺管内压超压自动切断进气泄压并报警。
工艺管悬浮,加热炉体可自由进退,可对工艺管内工艺基片进行快速升降温,适合
2″-4″工艺片。
尾气处理装置符合环保要求。
主要技术指标：
	基片尺寸	2″～4″圆片或方片
	工艺管数	1～4管
	工作温度	350℃～900℃
	恒温区长度	200mm～600mm
	恒温区精度	≤±1℃

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