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 主要用途 |
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卧式真空炉是真空技术与电炉加热技术相结合的热处理设 |
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| 备。应用于冶金、机械、航天、电子、轻工等工业部门。如： |
| 半导体芯片烧结及退火处理、永磁合金制造、真空钎焊、真空 |
| 除气、金属材料的无氧化光亮热处理等工艺。由于设备可提供 |
| 清洁无杂质的高真空状态，加热温度均匀且能够精确控制，因 |
| 此工艺条件优越，可提高工件质量和成品率。 |
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技术特点： |
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 工作热区设置多支热电偶，通过函数记录仪、温控仪、计算机显示和记录热区的温度 |
分布。 |
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高精度、多功能进口温控仪，能自动调节与修改PID参数，可存储9条控温曲线，可在 |
线修改。 |
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可实行双向通讯监控，以菜单、图表、曲线、动态界面等形式显示相关内容 |
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极限真空度高,冷态下炉体可获得优于5×10-4Pa的真空度,热态下可维持在10-3Pa数 |
量级 。 |
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全工位动态模拟显示，运行操纵，直观明了
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主要技术指标： |
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极限真空度 |
≤4×10-4Pa |
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排气时间 |
扩散泵经预热后，炉膛处于大气压且冷态下获得3×10—3Pa工作 |
| 真空度的时间不大于15分钟。 |
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有效热区尺寸 |
长×宽×高=450 mm×305 mm×305mm |
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最高温度 |
≤1000℃ |
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热区温度均匀性 |
900℃≤±3℃ |
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升温时间 |
装炉量不大于40Kg时,由室温升至(温控仪显示)900℃的时间小于 |
| 40分钟 |
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具有自动与手动两种操作方式，可以方便地选择使用 |
| 整机工作状态可适应计算机管理与监控。 |
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