主要用途

全封闭软着陆扩散是在原闭管扩散的基础上最新推出的同步于国际先进水平的新

主要技术特点

石英舟实现软着陆送片，对石英管无冲击，安全可靠；

炉门密封性好，热损失小；隔热包的取消大大减少了偏磷酸的沉积现象，实现

真正的洁净扩散；

全封闭扩散，减少用源量，降低扩散成本；

石英管清洗周期可延长至6个月；

推舟采用精密滚珠导轨导向，滚珠丝杆传动，运行平稳；

恒温区长，产量高，能满足大生产需求；

进口触摸式工业液晶屏＋进口PLC的智能集散控制模式，实现监控、工艺参数

编辑、工况图显示、实时曲线显示、历史数据管理等人机交互功能。工艺过程自

动控制。

整机模块化、标准化设计,关键件采用进口件,质量稳定可靠,安装快捷，维修

方便。

主要技术指标　

炉膛有效内径：    Ф350mm (适应石英管内径Ф320mm) 

温度控制范围：    400～1100℃；

有效装片量：      400片/管

恒温区长度及精度：≤±1℃/1080mm?? （801～1100℃）

单点温度稳定性：  ≤±1℃ /4h（880℃时）；

内置Profile TC 实时显示工艺过程恒温区内前、中、后三点的实际温度；

尾气收集方式：尾部集中收集，定向排放；

具有超温、断偶、断水、断气报警和保护功能；

送片方式：悬臂式SiC桨软着陆送舟机构。水平进舟速率50mm/min～800mm/min连续可调；定位精度：≤±3mm 。

垂直升降速率： 8mm/min～12mm/min；石英炉门自动密封，气缸推动完成水平二级推动和旋转运动。

工艺过程由工控计算机全自动控制,直接在触摸屏上操作；　

可存储100条工艺曲线、每条曲线不少于30个拐点；

源温采用BV100恒温槽控制。

质量流量计控制精度: ≤±1% FS；

设备故障率：        ≤5%；

设备总功率：        峰值≤150 KVA（3管），保温功率约75 KVA（3管）。