新能源光伏装备

新能源光伏装备

凭借数十年军工技术的沉淀,四十八所成功研制了一系列太阳能电池生产设备,如:扩散炉、PECVD、电池片分选机、硅片分选机等。

  • 全自动软着陆扩散炉

    全自动软着陆扩散炉

    主要用于在硅片表面掺杂、氧化、合金、退火等半导体制程工艺,是集成电路、微电子、晶体硅太阳能电池、电力电子等行业的关键电子专用设备,其性能技术指标已经达到国际先进技术水..

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  • 低压扩散炉

    低压扩散炉

    M5111-6/UM型低压扩散炉继承了上一代产品的全密封洁净扩散、推舟软着陆、工艺自动化程度高、设备运行稳定可靠性好、石英管维护周期长、SiC桨免维护等优点,并在温度曲线控制、恒..

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  • 管式PECVD

    管式PECVD

    PECVD即等离子体增强化学气相淀积设备,是利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。电子和离子的密度达109~1012个/cm3,平均电子能量可达1~1..

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  • 全自动太阳能电池测试分选系统

    全自动太阳能电池测试分选系统

    可自动测试太阳能电池片的所有电参数,并根据电池片参数进行自动分类。使用者可以根据需要自行定义分类规则,满足对电池片各个参数的要求,设备分选结果可以记录与输出,方..

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  • 全自动硅片品质测试分选系统

    全自动硅片品质测试分选系统

    采用叠片式或片盒式进料,硅晶片在皮带上逐一经过检测模组,检测数据快速传递给上位处理系统并得以汇总,按照使用者的要求做分类下料。硅片品质分选设备的应用推动了光伏行..

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