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主要用途 |
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主要用于太阳能电池生产线上硅片扩散前硅片表面的油类分子、金属杂质、机械损伤 |
| 层的去除及金字塔绒面制作.是一条集清洗、腐蚀、干燥为一体的全自动综合清洗工艺线。 |
技术特点
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本设备采用红外灯管加热,温度响应迅速,温度均匀性好。 |
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主要技术指标 |
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硅片尺寸: |
兼容156×156,125×125,103×103 |
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设备外形尺寸: |
16.5m×2.3m×3.2m |
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最大产量: |
1800片/小时 |
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工艺过程控制方式: |
PLC控制方式,全图形化中文人机界面 |
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机械手传送定位精度: |
横向±2mm,纵向±2mm |
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机械手传动速度: |
垂直升降速度不小于4000mm/min,水平移动速度不小于6000mm/min |
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槽体数量: |
15槽 |
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烘干时间: |
≤20min |
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| 地 址:长沙市天心区新开铺路1025号中国电子科技集团公司第四十八研究所经营二处 |
| (湖南红太阳光伏科技有限公司经营部) 邮编:410111 |
| 联 系 人:彭志坚 王理政 王石 吴帆 肖昕 郎海刚 |
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