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工程中心延伸技术成果:第一台定制离子注入机顺利交付

  


      光伏用离子注入机是工程中心组建期内的重要任务,经过课题组成员的努力,突破多项关键技术,使设备的可靠性、稳定性、产品的一致性都有大幅度的提高。设备应用千变万化,但是核心技术互通互融,光伏离子注入机关键技术突破,带动了离子注入机技术进步。2014年11月某日,经过连续几天紧张的现场测试,工程中心技术成果推广产品--定制离子注入机——“XXX型特种离子注入机”通过出厂指标测试,获得了客户的认可。该项目的成功意味着工程中心的技术成果不仅仅为行业发展有着非常重要的促进作用,而经过产业化验证的技术为半导体装备行业的进步也有着非常重要的意义!