全自动硅片品质测试分..

采用叠片式或片盒式进料，硅晶片在皮带上逐一经过检测模组，检测数据快速传递给上位处理..

全自动太阳能电池测试..

可自动测试太阳能电池片的所有电参数，并根据电池片参数进行自动分类。使用者可以根据需..

管式PECVD

PECVD即等离子体增强化学气相淀积设备，是利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相..

低压扩散炉

M5111-6/UM型低压扩散炉继承了上一代产品的全密封洁净扩散、推舟软着陆、工艺自动化程度高..

全自动软着陆扩散炉

主要用于在硅片表面掺杂、氧化、合金、退火等半导体制程工艺，是集成电路、微电子、晶体硅太..