半导体工艺设备

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• PVD设备
• 微组装

传感器与系统

• 敏感元件
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• 微系统

分子束外延系统

热工装备（窑炉）

• 锂电池材料制造设备
• 磁性材料制造设备
• 钒氮合金材料制造设备
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光伏装备

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