光伏装备
光伏装备
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M5111-8WKUM型高温负压氧化炉设备
高温氧化炉是半导体器件加工中的典型热处理设备，用于集成电路、分立器件、太阳能光伏行业中进行氧化、退火、合金及烧结等工艺。
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M82200-10UM型PECVD 镀膜设备
M82200-10/UM型PECVD镀膜设备采用直接式等离子体沉积方式，可生产出质量极佳的晶体硅太阳能电池减反射膜，是业内管径、单管产能最大的管式镀膜设备。
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M82300-3/UM型PECVD镀膜设备
M82300-3/UM型五管PECVD设备既可用于淀积电池片正面氧化硅减反射膜，也可用于淀积电池片背面钝化膜。
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RSP-6000 平板式PVD
设备主要用于高效晶硅体太阳能电池制造工艺中HJT电池片正面和背面IOT薄膜的沉积。
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