5月5日，2023碳化硅关键装备、工艺及其他新型半导体技术发展论坛在长沙召开。来自湖南省科技厅、湖南湘江新区、国防科技大学、湖南大学、中南大学等单位和高校的专家学者及第三代半导体产业链上下游的企业家代表出席论坛。
论坛围绕“碳化硅衬底、外延及器件相关装备产业创新发展”“关键零部件及制造工艺创新突破”“产业链上下游协同创新”等研究方向进行深入研讨。论坛期间，与会专家将就第三代半导体发展前景、技术攻关、产业链供应链发展等进行积极交流和经验分享。
本次论坛的主办单位是中国电子科技集团公司第四十八研究所（简称“48所”），48所是我国唯一一家以“离子束、分子束、电子束”（简称“三束”）技术为核心的国家级半导体工艺设备研究所，创造30余项国内第一。
48所党委书记王平介绍，当前48所正积极建设以“三束”技术为核心的装备创新中心，在“三束”装备、第三代半导体核心装备、硅基半导体装备及整线集成应用等方向持续发力，立足长沙，建设好国家半导体装备产业集聚区。
