长沙片区的青年er
朝气蓬勃、锐意进取
冲锋在科技创新攻关的最前沿
展现出敢闯敢干、担当作为的精神风尚
“且听青年说”
关于青春、初心、理想
一起来听听吧
我是黄海龙，来自北京烁科中科信公司研发部，很荣幸能够与装备共同成长。
高能离子注入机作为集成电路制造所必需的高端装备，被称为集成电路领域“关键之关键”。在集团公司、电科装备和48所的全力支持下，公司自主布局高能离子注入机，一支以青年党员为主、平均年龄29岁的团队迅速集结，而我有幸成为其中一员，与团队共同满怀青春热血，在没有任何经验参考的情况下，将设备从模糊的概念具象化成了设计图纸，又将设计图逐步变成现实，推向了国内先进集成电路大产线。在这个过程中，我也从一名新晋工程师，成长为团队负责人。
高能离子注入机比其他机型的离子注入机构造要复杂许多，零部件多达两万五千个，这使得图纸设计难度攀升。但项目时间紧张，为高效率高质量地出图，我与其他同志一道，以自己的青春、智慧和心血，顶住压力跟时间赛跑，根据设备性能将上万个部件逐一打磨，让它们由零件变为模块、由模块变为模组、由模组变为整机，一遍遍耐心地将设备图纸从1稿改到2稿、3稿……志不求易者成，当设计图纸的文件名终于命名为“最终稿”时，设备制造也就有了“蓝图”。
2022年年初，我们接到了设备工程化任务，要求保障设备高品质进驻产线。这意味着设备将开始接受产线的考验，要具备更稳定的性能，两万五千多个硬件要7*24h密切配合，软件系统要高速运转，让束流时刻保持在特定的能量，不能有一丝卡顿，难度系数可想而知。作为团队队长的我倍感压力，但丝毫没有退缩。
高能量束流均一性指标成为第一个关卡，为与国外设备对标，该项指标需从1%精准到0.5%，虽然只是0.5%的改变，但背后却是我们扎根实验室，与影响均一性的5项关键指标死磕，修改5000多次程序只为精益求精，逐一调整达标。在无尘服的包裹下，我们汗流浃背，但每次出实验室，我们来不及擦拭汗水，就奔向办公室总结实验数据。事不避难者进，设备如愿达到了0.5%的技术指标，可保证工艺量产注片时的稳定性，保障设备上线时间。
关关难过关关过。凭借着不服输的劲头，团队又接连突破了高能离子加速技术等核心技术难关，设备达到了8 MeV的粒子加速能量，各项工艺指标均达到对标机台水平。2022年6月，设备如期进驻国内知名集成电路大产线，目前，已进入产线工艺验证的最后阶段。
一直以来，我只是尽到了一名离子注入装备人应尽的职责。未来，我将与全体同仁一道继续保持锐意进取、担当有为的精气神，助力推进全系列离子注入机齐头并进发展，保障国家重大战略需求，打响“烁科装备”品牌！
