外延产品线党员突击队 | 聚焦重难点,一线写担当

文章出处:原创 人气:1175 发表时间:2023-10-11
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今年是全面贯彻党的二十大精神的开局之年,在全党上下深入推进学习贯彻习近平新时代中国特色社会主义思想主题教育的浓厚氛围下,48所结合“三亮三创”创建活动,建立了数支以党员为主体、入党积极分子和优秀青年主动参与的党员突击队。下面,请跟随小编一起感受本年度“三亮三创”党员突击队团队风采吧!

 

外延产品线党员突击队

外延生长设备是第三代半导体SiC器件制造的核心装备之一,目前我国正在加速相关产品的自主研制。48所外延产品线党员突击队勇挑重担、冲锋在前,在外延生长设备技术攻关的赛道上持续发力,不断发现问题并解决问题,克服了一个又一个困难,取得了一个又一个胜利。

 

今年,团队最新研制的8英寸SiC外延设备惊艳亮相2023上海国际半导体展览会,引发业内广泛关注。自研的8英寸SiC外延设备可兼容6、8英寸SiC外延生产,且生长厚度均匀性小于1.5%、掺杂浓度均匀性小于4%、表面致命缺陷小于0.4个/cm²。目前,48所研发的首台8英寸SiC外延设备已成功完成工艺验证。

 

SiC外延设备从6英寸至8英寸的提升,凝结了团队诸多的心血和智慧。未来,团队将不断突破技术“壁垒”,牢牢掌握核心技术,加快产品迭代升级和产业化应用进度,为助推我国半导体装备领域自立自强作出新的更大贡献。

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