分子束外延系统
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NV-400型分子束外延系统
- 产品简介
- 产品特点
- 技术参数
- 应用范围
适用于大规模量产用户， 全自动线性传输， 多生长室真空互联
生长室
· 极限真空5E-11Torr
· 4x6英寸/批或 9x4英寸/批
· 12个源炉口缓冲室
· 极限真空5E-10Torr
· 可选集成式高温除气台
· 可选独立预处理室
· 易于扩展，多腔互联
· 全自动传输进样室
·快开门设计
·可装载10片晶圆
·红外灯管加热
·晶圆升降电动控制
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