光伏装备
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M5111-8WKUM型高温负压氧化炉设备
- 产品简介
- 产品特点
- 技术参数
- 应用范围
- 高产能，单管产能可达1600片/批；
温控系统性能出色，采用可预测型五段双回路智能温控系统以及新型炉体，控温精度和回温性能优异；全套倍福系统及总线控制方式，可靠性和信息化化性能优异；自动上下料系统，采用全自动上下料、在线式插取片对接系统，扩展了设备自动化程度，降低人工劳动强度，减少人工污染。
产能
硅片尺寸
156×156mm方片
单管装片量
1600片/批（槽间距2.38mm）
工艺类型
高温氧化、退火工艺
温度控制系统
控温方式
5段双回路串级控制
控温范围
600℃～1100℃
恒温区长度及精度
≤±0.5℃/1600mm（801℃～1100℃）
≤±1℃/1600mm（400℃～800℃）
单点稳定性
±0.5℃/24h(静态，900℃)
炉体升降温速率
最大升温20˚C/min；最大降温5˚C/min
气路系统
流量控制方式
氮气、氧气流量由MFC控制；保护氮气由浮子流量计控制
气体控制精度
±0.5%FS
送舟机构
水平推舟速率
1～400mm/min 连续可调，定位精度≤±1mm
垂直升降速率
8～12mm/min
石英舟进出方式
软着陆、在线式（净化台侧出舟）
SiC桨最大承载
25Kg
控制系统
工艺监控方式
工业平板电脑全自动控制（触摸屏操作）
自动控温功能
具有自动斜率升降温及恒温功能
工艺历史记录功能
核心工艺参数（温度、压力、流量、功率、电流、淀积时间）每3秒记录一次，其他过程每10秒记录一次。
报警保护功能
设备具有工艺状态声光提醒，以及计算机异常、超温报警与欠温、MFC偏差、反应室压力偏差、极限超温报警和保护功能；
其他参数
设备峰值功率
280 KVA（5管）
保温功率
75 KVA（5管）
设备柜体尺寸
7440mm(长）×2020mm（宽）×3530（高）
设备利用率
≥98%
- 扩散炉是半导体加工中的典型热处理设备，用于集成电路、分立器件、太阳能光伏行业中进行P掺杂、B掺杂、氧化、合金、退火等工艺
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