近日,离子注入机团队在客户单位对自主研发的国内首台用于量子通信领域的离子注入机进行了紧张有序的调试,经过团队夜以继日的奋斗,目前工艺试验已取得阶段性突破,团队积极主动、认真负责的工作态度获得客户高度评价。
量子科学研究是世界前沿技术,量子密钥点光源制备对注入工艺要求极高,调试过程并没有想象的那么顺利,为了能让客户尽快地用上设备开展工艺,离子注入机团队进行了加班加点连轴转的现场调试。在调试过程中,束斑形状异常、超低剂量控制不稳定、中性束影响等一系列从未遇到过的问题摆在大家面前,面对新的挑战和客户殷切的期望,团队成员毫不气馁,迎难而上,与用户专家一起顽强攻关,没有借鉴就自己摸索,时间紧就晚上周末一起上,通过一轮又一轮的试验,一遍又一遍的方案研讨优化,在大家的共同努力下,目前已经成功完成了微米级的点注入试验、6英寸的大面积注入试验和超低剂量注入试验,样品的定位精度满足指标要求,为客户顺利进入工艺阶段提供了坚实保障。客户对我们积极主动的工作态度和客户至上的服务意识表示赞赏,对后续合作充满了信心。